Технология материалов и изделий электронной техники. Методические указания к практическим занятиям
Орликов Л.Н.
Целью настоящего пособия является углубление понимания процессов, происходящих при формировании материалов и изделий. Уделяется внимание процессам обеспечения вакуума при формировании нанослоев, процессам подготовки изделий к технологическим операциям. Рассматриваются варианты задач по осаждению пленок и сорбционно-десорбционным процессам, сопровождающим формирование покрытий в вакууме. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» (специальность «Электронные приборы и устройства» по дисциплине «Технология материалов и изделий электронной техники».
Jahr:
2012
Verlag:
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Sprache:
russian
Seiten:
31
Datei:
PDF, 469 KB
IPFS:
,
russian, 2012